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如何选择适合自己的白光干涉膜厚仪?
白光干涉膜厚仪(相干扫描干涉仪CSI)核心分为两种测厚模式:台阶模式(通用):薄膜制备台阶,测量膜面与基底高度差;透明薄膜干涉解算模式:无需台阶,依靠薄膜上下界面干涉光谱计算单层/多层透明膜厚度。选型第一步先明确样品类型、厚度区间、使用场景,再匹配硬件、软件、环境条件。一、先梳理自身核心测试条件(选型前置清单)薄膜种类不透明薄膜(金属镀层、不透光介质膜):只能依靠台阶法测厚,只要Z轴量程、分辨率满足即可。透明/半透明薄膜(光刻胶、氧化膜、光学镀膜、树脂涂层):需要仪器具备透明...
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疏水层纳米厚度测量仪:把“看不见的防水膜”量到亚纳米
在手机屏幕、汽车挡风玻璃、光伏面板与医疗植入器械上,疏水/超疏水层往往只有“一百个原子的厚度”(1~20nm)——太薄则防水失效、易磨损,太厚则发雾、附着力下降、成本高企。传统卡尺、千分尺失效,台阶仪需破坏样品,接触式探头还会刮伤脆弱氟硅烷膜。疏水层纳米厚度测量仪以非接触光学+模型反演为核心,把“不可见的纳米防水膜”变成可量化、可管控的工艺参数,是镀膜与功能表面的“隐形质检官”。为什么疏水层“难测”?仪器怎么破?疏水层(氟碳、硅烷、PFPE、自组装单层SAM)多为低折射率、超...
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弯曲表面膜厚仪测量精度影响因素
一、被测工件曲面几何特征曲率大小曲率半径越小、曲面越陡,测量光斑有效接触面积缩减,光路信号发生偏移;凸面容易出现光线散射,凹面会产生信号反射干涉,直接造成读数漂移。同种仪器一般存在适用曲率范围,超出范围误差显著增大。曲面朝向与测点位置测点位于曲面顶点、斜面、边缘位置的测量结果不一致;边缘区域易产生边缘衍射、漏光,数值失真。测量时探头需垂直测点切线平面,倾斜会加大偏差。表面弧度不对称非球面、异形弧面,不同方向曲率不一致,同一位置多次测量重复性变差。二、探头与工件的几何对位探头垂...
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疏水层只有“一百个原子”厚,怎么测?——NS-Touch正在改变这件事
疏水涂层,就是让水珠在表面滚来滚去、不留一点痕迹的那层“隐形外衣”。手机屏幕、汽车玻璃、眼镜镜片、光伏组件……你每天触碰的很多东西表面都有它。但这层外衣有多厚?大约只有一百个原子的厚度。用肉眼看不见,用手指摸不着。测量它的厚度,长期以来是一件相当棘手的事。一、为什么疏水层厚度这么难测?疏水层有几个让传统测量方法头疼的特点:-太薄了:纳米级别的厚度——比头发丝的千分之一还要薄。常规的机械接触式测厚仪,探针一压上去,要么压穿涂层,要么读数飘忽不定。-在曲面上:眼镜片是弧面的,车灯...
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光学纳米级测厚仪:让埃米尺度的厚度差异在光谱中显形
在半导体晶圆制造、光学镀膜及柔性显示面板行业,薄膜的厚度往往以纳米甚至埃米为单位。一层几十纳米的High-k栅介质或OLED空穴传输层,其厚度偏差哪怕只有1%,都可能导致器件漏电、色偏甚至失效。传统接触式台阶仪容易划伤样品,且无法测量柔软或复杂曲面;而低端光学仪器又难以突破衍射极限。光学纳米级测厚仪,正是为应对这一挑战而生的“微观标尺”——它利用白光干涉、椭偏或光谱反射技术,在不接触样品的前提下,以亚纳米级的分辨率“透视”单层或多层薄膜,让原子尺度的厚度差异在光谱数据中清晰显...
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白光干涉膜厚仪的精度能达到多少?
从核心精度指标划分,行业将参数分为重复测量精度与绝对测量准确度两类,二者代表不同测量能力。重复精度指同一测点连续多次检测的数据波动范围,是仪器自身信号稳定能力;准确度指测量数值和标准膜片真实厚度的偏差,受折射率、光路校准、物镜规格共同影响。部分实验室与半导体机型搭载全光谱紫外-近红外光源,重复精度最低可达到0.02–0.05纳米,单点多次检测数值几乎无明显跳变,适配2–10纳米超薄栅介质、氧化硅薄膜检测。常规科研台式机型重复精度多集中在0.2–1纳米区间,是实验室光刻胶、光学...
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弯曲表面膜厚仪的工作原理是什么?
弯曲表面膜厚仪核心是光学法(白光干涉/光谱反射)或光热法(ATO),配合微型光斑/柔性探头+曲率补偿算法,非接触测量弧面、球面、R角等工件的涂层/薄膜厚度,规避传统接触式的边缘效应与贴合误差。一、主流测量原理(按技术路线)1.白光干涉/光谱反射法(很常用,纳米级)核心原理:宽光谱光源(紫外/可见/近红外)照射曲面薄膜,上下表面反射光形成干涉条纹;探头采集反射光谱,结合材料折射率库与曲率补偿算法,解析单层/多层膜厚。关键设计:光斑小(≈100μm)、偏振光路抑背反射、光纤探头适...
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光学纳米级测厚仪的工作原理、技术特点及应用场景
在半导体制造、光学镀膜、显示面板及新材料研发领域,薄膜厚度的精确控制是决定器件性能的关键工序。一层仅数十纳米厚的氧化膜,其厚度的微小偏差就可能导致芯片电性能的显著变化;一片增透膜的厚度偏离设计值,直接改变光学元件的透过率。传统的机械探针式轮廓仪难以测量软质薄膜且可能损伤样品表面,而光学纳米级测厚仪利用光干涉、光谱反射或椭圆偏振原理,以非接触、无损的方式快速测定透明及半透明薄膜的厚度,精度可达亚纳米级别。本文将系统介绍光学纳米级测厚仪的工作原理、技术特点及应用场景。一、工作原理...
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眼镜片硬化膜厚度测试方法综述
一、硬化膜的作用与厚度范围树脂镜片硬度相对较低,表面容易产生划痕。为了提高镜片的抗磨损能力,需要在镜片表面施加硬膜。目前主流的镀硬膜工艺是采用浸泡法——镜片经过多道清洗后,浸入加硬液中,以一定速度提起,然后在烘箱中聚合固化。常见的树脂镜片加硬膜厚度约为3~5微米,有些产品可控制在1.7~2.0微米范围内。硬化膜的厚度直接影响镜片的耐磨性能和使用寿命,同时也是镀膜工艺质量控制的关键参数之一,因此在生产过程和成品检验环节中都需要对其进行准确测量。二、相关标准国内已出台专门针对硬化...
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如何判断白光干涉膜厚仪的测量结果是否准确?
如何判断白光干涉膜厚仪测量结果是否准确(实操可直接落地)一、用标准样片比对使用有证标准膜厚片/台阶高度标准样(已知真值)。在同样物镜、同样参数下重复测量5次。计算平均值与真值偏差:常规要求:偏差≤±1%~±2%为准确高精度薄膜:≤±0.5%偏差超标:仪器需要校准、调光路或重新设置折射率。二、重复性自检(不用标准样也能判断)同一测点不动,连续测5~10次:相对标准差RSD≤0.5%~1%→结果稳定可信RSD很大、数值跳变明显→不准,受振...
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详细介绍一下白光干涉膜厚仪的工作原理
白光干涉膜厚仪是以宽波段白光为光源,依托薄膜多层反射光干涉原理,结合光谱采集与光学算法拟合,实现透明及半透明薄膜非接触式精密测厚的专业检测仪器。仪器整体由宽谱光源、光学发射接收光路、光谱采集组件、数据处理控制系统四部分组成。设备工作时,光源发射连续广谱白光,光线经过光学镜头垂直入射至被测薄膜样品表面。入射光线到达样品后会产生两处关键反射,第一束光线在空气与薄膜的上表面直接形成反射,第二束光线穿透整体薄膜,在薄膜与基底的下界面发生反射后,再次穿过薄膜向上射出。两束反射光线传播路...
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透视分子级屏障:疏水层纳米厚度测量仪选购指南
在半导体制造、光学镜头镀膜及医疗器械亲疏水改性领域,疏水层的厚度(通常在纳米尺度)直接决定了产品的润滑性、防污能力及生物相容性。传统的接触角测量只能间接推断,而专用的疏水层纳米厚度测量仪能提供直接的量化数据。选购此类精密仪器,核心在于“测量原理”、“样品适应性”及“数据建模”的精准匹配。本文将从四大维度为您解析。一、测量原理:光谱椭偏仪VS反射光谱这是决定数据精度的关键。•光谱椭偏仪:这是测量纳米薄膜(1nm-1000nm)的金标准。它通过测量偏振光在薄膜表面的振幅和相位变化...
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