NS-Micro系列是显微镜集成式膜厚测量分析系统。NS-Micro系列 (显微镜集成式膜厚仪)在标准显微镜基础上叠加光谱测量模块，能够将测量光斑精准聚焦至1微米区域，并实时显示测量点位彩色图像。 NS-Micro系列 (显微镜集成式膜厚仪)适用于微小区域膜厚测量或实验室研发场景等。

NS-Micro 特色

·超强测量信号，让微小区域膜厚测量不再困难

·高精度手动位移滑台，精准测量样品微小区域

·集成彩色摄像机，实时监控测量点位

·测量光斑可选范围 1-100 μm

NS-Micro系列参数规格

NS-Micro系列 (显微镜集成式膜厚仪)

厚度测量范围

型号	NS-MicroUV	NS-Micro	NS-MicroUVX	NS-MicroEXR
波长范围	190 – 1000 nm	380 – 1100 nm	190 – 1700 nm	380 – 1700 nm
5X物镜测量范围1	-	15 nm – 75 μm	-	-
10X物镜测量范围		15 nm – 16 μm
15X物镜测量范围	1 nm – 30 um	15 nm – 100 um	1 nm – 100 um	15 nm – 100 um
20X物镜测量范围1	-	15 nm – 6 μm	-	-
50X物镜测量范围1	-	15 nm – 2 μm	-	-
100X物镜测量范围1	-	15 nm – 1 μm	-	-
准确度2	1 nm 或 0.2%	2 nm 或 0.2%	1 nm 或 0.2%	2 nm 或 0.2%
精度3	0.02 nm
稳定性4	0.05 nm
测量速度	< 1s（单次静态测量）
光源	氘灯＋卤钨灯	卤钨灯	氘灯＋卤钨灯	卤钨灯
样品尺寸	直径从1mm 到 300mm或更大

接口要求
电源	110-240VAC, 50–60 Hz,20 W
数据接口	USB
电脑配置
操作系统	Windows 11
电脑硬件	主机，显示器，键鼠

光斑尺寸	500μm 孔径	250μm 孔径	100μm 孔径
5X物镜	100 μm	50 μm	20 μm
10X物镜	50 μm	25 μm	10 μm
15X物镜	33 μm	17 μm	7 μm
50X物镜	10 μm	5 μm	2 μm
100X物镜	5 μm	2.5 μm	1 μm

取决于具体材料

2 Si/SiO2(500~1000nm)标样片

3 计算100次测量500nm SiO2标准片的1倍标准偏差，对20个有效测量日的1倍标准偏差取平均

4 计算100次测量500nm SiO2标准片的平均值，对20个有效测量日的平均值做2倍标准偏差

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